很多工業生產中都會副產氯化氫。在多晶硅的生產過程中不僅會產生氯化氫，還會產生其他多種有害氣體。

    多晶硅生產過程中會產生氯氣、氫氣、三氯氫硅、氯化氫等有害物質，主要危險特性有：
     1)氫氣：與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇熱或明火即會發生爆炸。氣體比空氣輕，在室內使用和儲存時，漏氣上升滯留屋頂不易排出，遇火星會引起爆炸。氫氣與氟、氯、溴等鹵素會劇烈反應。（氯化氫）
     2)氧氣：助燃物、可燃物燃燒爆炸的基本要素之一，能氧化大多數活性物質。與易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。
     3)氯：有刺激性氣味，能與許多化學品發生爆炸或生成爆炸性物質。幾乎對金屬和非金屬都起腐蝕作用。屬高毒類。是一種強烈的刺激性氣體。
     4) 氯化氫：無水氯化氫無腐蝕性，但遇水時有強腐蝕性。能與一些活性金屬粉末發生反應，放出氫氣。遇氰化物能產生劇毒的氰化氯化氫。
     5)三氯氫硅：遇明火強烈燃燒。受高熱分解產生有毒的氯化物氣體。與氧化劑發生反應，有燃燒危險。極易揮發，在空氣中發煙，遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。燃燒(分解)產物：氯化氫、氧化硅。
     6)四氯化硅：受熱或遇水分解放熱，放出有毒的腐蝕性煙氣。
     7)氫氟酸：腐蝕性極強。遇H發泡劑立即燃燒。能與普通金屬發生反應，放出氫氣而與空氣形成爆炸性混合物。
     8)硝酸：具有強氧化性。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應，甚至引起燃燒。與堿金屬能發生劇烈反應。具有強腐蝕性。
     9)氮氣：若遇高熱，容器內壓增大。有開裂和爆炸的危險。
    10)氟化氫：腐蝕性極強。若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。

    副產物氯化氫等有害物質在工業生產中的危害需引起相關部門的注意，這是保證安全生產的重要前提。