發展循環經濟的今天，對于氯化氫等眾多化工副產物的回收再利用是非常重的一環。那么在三氯氫硅的生產中，氯化氫的回收循環也是重點。

    未被冷凝下來的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環使用。
    采用綜合回收方法使合成工序開路工藝流程變為閉路循環，提高原材料利用率，降低了原材料單耗，實現了無廢氣排出，徹底解決了環境污染問題。但是，尾氣中含有的微量氯硅烷容易與氯化氫中的水反應生成固體二氧化硅堵塞管道，降低三氯氫硅的收率。

    此方法因其原材料氯化氫的強吸水性，在運行過程中可能會遇到其他的問題，所以，不是最好的處理方式。