發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟的今天，對于氯化氫等眾多化工副產(chǎn)物的回收再利用是非常重的一環(huán)。那么在三氯氫硅的生產(chǎn)中，氯化氫的回收循環(huán)也是重點。

    未被冷凝下來的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統(tǒng)，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環(huán)使用。
    采用綜合回收方法使合成工序開路工藝流程變?yōu)殚]路循環(huán)，提高原材料利用率，降低了原材料單耗，實現(xiàn)了無廢氣排出，徹底解決了環(huán)境污染問題。但是，尾氣中含有的微量氯硅烷容易與氯化氫中的水反應(yīng)生成固體二氧化硅堵塞管道，降低三氯氫硅的收率。

    此方法因其原材料氯化氫的強吸水性，在運行過程中可能會遇到其他的問題，所以，不是最好的處理方式。