在如三氯氫硅的眾多工業生產中所副產出的氯化氫氣體，想要得到很好的二次利用，就需要認真分析各種工藝方法的利弊，結合利用。
    利用活性炭對氯硅烷的吸附作用。當尾氣中氯化氫氣體、氫氣及少量未液化的氯硅烷經過活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，當活性炭吸附飽和后，由蒸汽加熱，脫出吸附的氯硅烷，與合成產品一同送離系統進行分離。未被吸附的氯化氫氣體經水吸收后，變為副產品鹽酸外售。剩余的氫氣送氯化氫氣體合成系統按一定比例與氯氣燃燒生成氯化氫氣體循環使用。 
    吸附塔吸附方法是在回收少量的氯硅烷的基礎上，尾氣中的氯化氫被水吸收后成為鹽酸。不但解決了酸性水排放的問題，同時增加了副產品鹽酸，增加了經濟效益。但是該方法對活性炭的要求較高，蒸汽用量較大，經濟性差。
    回收利用方法多樣，也各有利弊，想要得到預期效果，就要揚長避短，將多種工藝結合使用。
    淄博萬達利特種氣體公司生產的氯化氫是在淄博齊魯石化工業園區注冊的高新科技企業，淄博萬達利直屬于北京華宇同方，主要從事新材料技術和化工新技術的研發，以及高新技術產品的生產和銷售。研發的沸石催化劑及其應用技術處于世界先進水平。生產的“華宇同方”牌高純氯化氫產品與國際知名品牌的性能相當，為半導體器件制造業、光伏產業和醫藥工業提供了充足的優質原材料。