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氯化氫改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法

返回打印發布時間：2013-2-2 點擊：9225

改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫（或外購氯化氫），氯化氫和產業硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。

國內外現有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產電子級與太陽能級多晶硅。

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